電子半導(dǎo)體超純水系統(tǒng)是一種用于生產(chǎn)高純度水的設(shè)備，專為滿足電子半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)水質(zhì)的高要求而設(shè)計(jì)。其通過(guò)多級(jí)純化工藝，將自來(lái)水或其他水源中的雜質(zhì)去除，達(dá)到超純水的標(biāo)準(zhǔn)。這些雜質(zhì)包括離子、有機(jī)物、微生物、顆粒物等，以確保水質(zhì)滿足電子半導(dǎo)體制造過(guò)程中的嚴(yán)格要求。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、集成電路制造、平板顯示器制造、光電子器件制造等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，超純水用于清洗、蝕刻、摻雜等工藝步驟，確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
1、深度凈化水質(zhì)
去除雜質(zhì)
能夠有效去除水中的各種雜質(zhì)，包括懸浮物、膠體、溶解性鹽類、有機(jī)物、細(xì)菌、病毒等。例如，通過(guò)預(yù)處理環(huán)節(jié)的過(guò)濾、吸附等操作，可去除大部分懸浮物和膠體；在深度除鹽環(huán)節(jié)，利用反滲透、離子交換等技術(shù)，能將水中的溶解性鹽類含量降z(mì)極低水平。
對(duì)于半導(dǎo)體制造中對(duì)水質(zhì)要求高的光刻、蝕刻等工藝，超純水系統(tǒng)中的終端精處理模塊會(huì)進(jìn)一步去除水中殘留的微量雜質(zhì)，確保水質(zhì)達(dá)到超純標(biāo)準(zhǔn)。
控制微生物生長(zhǎng)
采用紫外線殺菌、臭氧消毒等多種消毒方式，殺滅水中的細(xì)菌、病毒等微生物，防止微生物在管道和設(shè)備中滋生繁殖。同時(shí)，通過(guò)控制水溫、pH值等參數(shù)，抑制微生物的生長(zhǎng)環(huán)境，保證超純水的無(wú)菌狀態(tài)。
2、精確調(diào)節(jié)水質(zhì)參數(shù)
溫度調(diào)節(jié)
根據(jù)不同的半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝需求，精確控制超純水的溫度。例如，在一些化學(xué)氣相沉積（CVD）工藝中，需要將超純水加熱到特定溫度，以保證反應(yīng)氣體在襯底表面的沉積速率和均勻性。
超純水系統(tǒng)通常配備有先進(jìn)的加熱和冷卻裝置，能夠?qū)⑺疁乜刂圃?plusmn;0.1℃的精度范圍內(nèi)。
壓力調(diào)節(jié)
為滿足不同工藝環(huán)節(jié)對(duì)水壓的要求，系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)對(duì)超純水壓力的精確調(diào)節(jié)。比如，在芯片清洗過(guò)程中，需要一定的水壓來(lái)確保清洗效果，超純水系統(tǒng)能夠根據(jù)設(shè)定值穩(wěn)定輸出所需的水壓。
壓力調(diào)節(jié)裝置通常采用高精度的壓力傳感器和調(diào)節(jié)閥，可實(shí)現(xiàn)水壓在0-10MPa范圍內(nèi)的精確控制。
流量調(diào)節(jié)
根據(jù)半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的不同用水需求，精確調(diào)節(jié)超純水的流量。例如，在蝕刻工藝中，需要根據(jù)蝕刻液的配方和蝕刻速率，精確控制超純水的流量，以保證蝕刻過(guò)程的穩(wěn)定性和均勻性。
流量調(diào)節(jié)裝置采用質(zhì)量流量計(jì)或電磁流量計(jì)等高精度流量測(cè)量?jī)x器，結(jié)合自動(dòng)調(diào)節(jié)閥門，可實(shí)現(xiàn)流量在0-100L/min范圍內(nèi)的精確調(diào)節(jié)。
3、保障系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行
實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與預(yù)警
配備多種在線監(jiān)測(cè)儀表，如電導(dǎo)率儀、TOC（總有機(jī)碳）分析儀、粒子計(jì)數(shù)器等，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)超純水的各項(xiàng)水質(zhì)指標(biāo)。一旦水質(zhì)出現(xiàn)異常波動(dòng)，系統(tǒng)會(huì)立即發(fā)出警報(bào)，提醒操作人員進(jìn)行處理。
同時(shí)，系統(tǒng)還會(huì)對(duì)設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，如水泵的運(yùn)行壓力、水箱的液位等，及時(shí)發(fā)現(xiàn)并解決潛在的故障隱患。
自動(dòng)化控制與維護(hù)
采用先進(jìn)的自動(dòng)化控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)超純水系統(tǒng)的全自動(dòng)運(yùn)行。操作人員只需在控制界面上設(shè)置好相關(guān)參數(shù)，系統(tǒng)即可自動(dòng)完成進(jìn)水、凈化、供水等一系列操作流程。
此外，系統(tǒng)還具備自動(dòng)清洗、自動(dòng)消毒等功能，定期對(duì)設(shè)備進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命。例如，當(dāng)離子交換樹(shù)脂吸附飽和時(shí)，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)啟動(dòng)樹(shù)脂再生程序，恢復(fù)樹(shù)脂的交換能力。
